本文企业调查名单依据”传感器专家网”于2023年1月知乎文章《新增10条！中国50条MEMS传感器芯片产线年度大盘点(全网蕞新蕞全)》深度整理而来, 在原文中所列公司实体50个，其中包含3个重复项且，即实际调查公司为47个。感兴趣的小伙伴可以查询提及的文章对照起来看，其效果更佳。(抄袭狗司马)

　　原文所涉及公司按照顺序排列如下。

　　- 力盛芯(洛阳)电子科技公司：被限高，估计项目嗝屁了。

　　- 烟台睿创微纳技术股份有限公司：隶属于睿创微纳集团，所以对整个集团MEMS相关企业进行了分拆。

　　烟台睿创微纳技术股份有限公司成立于2009年12月, 其名下有多家子公司涉及MEMS生产业务。公司目前已经上市, 根据公司年报来判断, 其MEMS产线年依然存在于在建工程, 但是在2018年转固, 随后在2019~2022年的年报中均显示其产能为1500片/年, 其建设地点暂不清晰。

　　公司于2019年招股书中宣称将进行MEMS产线片/年的产能, 该项目于2022年申报, 即以2年建设期来推算将在2024年MP。

　　目前该公司参股18家公司, 其中有环评申请的子公司为:

　　-烟台睿创微纳技术股份有限公司。

　　-烟台齐新半导体技术研究院有限公司。

　　烟台睿创微纳技术股份有限公司成立于2009年12月, 产线位于烟台市经济技术开发区贵阳大街 11 号。目前预计有多期MEMS产线,因产线建设情况较为复杂且公司建设较久, 固在此以2022年环评为基础进行逆向整理如下:

　　-2010年7月, 批复《非制冷红外焦平面芯片、器件暨整机项目》。

　　-2014年6月, 批复《非制冷红外焦平面芯片、器件及整机项目环境影响变更》。

　　-2015年, 《非制冷红外焦平面芯片、器件及整机项目》竣工验收。

　　-2018年8月, 批复《睿创研究院建设项目》。

　　-2018年8月, 批复《金属化平台项目》。

　　-2018年12月, 批复《高性能全天候海事监控搜救红外热成像仪项目》。

　　-2018年12月, 《高性能全天候海事监控搜救红外热成像仪项目》竣工验收。

　　-2019年12月, 《金属化平台项目》竣工验收。

　　-2020年9月, 批复《长波民用非制冷红外焦平面探测器、机芯组件机加工项目》。

　　-2020年10月, 《睿创研究院建设项目》竣工验收。

　　-2020年9月, 《长波民用非制冷红外焦平面探测器、机芯组件机加工项目》竣工验收。

　　-2022年4月, 申报《非制冷红外焦平面芯片技术改造及扩建项目》, 拟投资25000万元对MEMS产线进行扩建, 并蕞终形成非制冷红外探测器 36万只/A的产能,对应产能为1500片/A。

　　-2022年6月, 申报《光电探测材料建设项目》, 拟投资2000万元进行扩建, 建成后可生产光电探测晶体材料系列产品, 本项目分两期进行建设, 一期仅建设碲锌镉晶片半成品加工生产线, 二期建设光电探测材料生长线。

　　烟台艾睿光电科技有限公司成立于2010年7月, 拟建设工厂地点为烟台市经济技术开发区贵阳大街11号。

　　-2023年月,申报《红外热成像器件及模组产业化建设项目》。

　　-2023年2月, 申报《红外热成像器件及模组产业化建设项目》,拟投资7779万元。购置生产工艺设备、测试设备及可靠性实验设备 121 台(套), 项目建成后, 形成年产 7 万套红外热成像器件和 3 万套红外热成像模组的生产能力。

　　-2023年5月, 《红外热成像器件及模组产业化建设项目》验收, 完成建设。

　　烟台齐新半导体技术研究院有限公司为一研发机构, 其成立于2021年1月, 位于山东省烟台市经济技术开发区贵阳大街13号。

　　-2022年4月, 备案《智能光电传感器研发中试平台》

　　-2022年4月, 申报《智能光电传感器研发中试平台》, 拟投资9亿元租赁烟台睿创微纳技术股份有限公司厂房建设红外探测器、半导体激光器、微波器件等智能光电传感器的研发中试平台, 建成后, 形成年加工200万颗(套)传感器的能力。项目共分三期完成, 一期建设主要是对电子元器件进行酸洗工艺处理, 酸洗后电子元器件的年产量200万件。二期建设主要是利用酸洗后酸洗后电子元器件进行光刻、划片、贴装等生产非制冷红外焦平面芯片200万套；三期主要是对非制冷红外焦平面芯片等各组件进行焊接、初装、测试, 年加工200万颗(套)。

　　-2022年7月, 重新申报《智能光电传感器研发中试平台》, 在重新规划中将4月建设改为二期, 而一期则变为生产传感器的终端产品, 主要是对红外窗口、金属管壳和晶圆等外购配件清洗、划片、贴装、组装等生产非制冷红外焦平面探测器及机芯组件 36 万套/年。一期总投资为8亿元。

　　-2022年9月, 《非制冷红外焦平面芯片技术改造及扩建项目》完成验收。

　　-2022年11月, 备案《智能光电传感器研发中试平台项目》

　　根据环评来分析, 该子公司或用于承接睿创微纳的MEMS产品, 并进行深加工后出货。

　　合肥英睿系统技术有限公司成立于2017年7月, 其建设场址位于安徽省合肥市合肥高新技术产业开发区彩虹西路与鸡鸣山路交口西北角 TH4-1-4 地块。

　　-2020年3月, 备案《红外热成像终端产品项目》。

　　-2022年8月, 再次备案《红外热成像终端产品项目》。

　　-2022年8月, 申报《红外热成像终端产品项目》, 拟投资30000万元新建产线, 以达到到年产红外热成像终端产品 140000 台套的能力。

　　合肥芯谷微电子股份有限公司成立于2014年11月, 厂区位于安徽省合肥高新技术产业开发区创新大道425号科技成果转化基地 E 栋, 目前建设信息有限, 按照2022年12月蕞新验收报告为基础整理该公司建设历程如下:

　　-2021年7月, 审批《微波器件及模组项目》。

　　-2022年4月, 申请《SOI工艺的Ka波段相控阵雷达幅相多功能芯片及封装研发项目》, 拟投资8000万元新建军工用产品研发平台, 不涉及生产。

　　-2022年10月, 审批《微波芯片设计及模组项目》, 拟投资10000万元生产微波芯片、 微波模块组件, 产能为微波芯片 300 万只、 微波模块组件 4000 只。

　　-2022年12月, 《微波芯片设计及模组项目》竣工报告编制完毕。

　　-2023年3月, 《微波芯片设计及模组项目》被纳入国家平台。

　　根据历史建设情况可知该产线存在一定军工品生产能力, 有晶圆生产能力, 其中GaAs投片为2000片/年, SOI投片为600片/年。

　　上海为奇科技有限公司成立于2019年10月, 定位为新一代半导体芯片及器件的设计与研发中心, 主要从事光学微机电系统(MEMS)器件、太赫兹检波器和带间级联激光器等芯片的设计研发和样品检验测试。位于上海市普陀区桃浦智创城(W06-1401 单元)119-01a 地块。

　　-2020年10月, 提交《睿创上海研究中心项目》建设申请, 拟投资21197万元建设研发中心。项目并未查询验收。

　　成都英飞睿技术有限公司成立于2018年10月:

　　-2019年11月, 备案《研发生产中心项目》。

　　-2019年12月, 申报《研发生产中心项目》, 拟投资100000万元在双流区西南航空港经济开发区工业集中区内建设研发生产中心, 建成后预计年产激光器及测距机 5000 台、红外光电转台 2000 台、太赫兹成像仪 500 台,项目劳动定员600人, 预计2022年量产。

　　截止至2023年5月, 并未查询到竣工信息, 其员工截止到2021年均为个位数。

　　无锡英菲感知技术有限公司成立于2016年7月, 工厂位于无锡市新吴区高浪路南侧、中石伟业地块西侧、纽豹公司东侧地块。

　　-2021年1月, 备案《新一代高端半导体芯片研发及产业化项目(一期)》。

　　-2021年3月, 重新备案《新一代高端半导体芯片研发及产业化项目(一期)》。

　　-2021年3月, 申报《新一代高端半导体芯片研发及产业化项目(一期)》, 拟投资1.5亿元建设一条化合物半导体合MEMS传感器中试平台, 其中MEMS芯片为6“~8“, 年投片约不涉及生产, 项目员工为200人。

　　无锡奥夫特光学技术有限公司成立于2014年5月, 目前有两个厂区。

　　一厂位于江苏省无锡市梁溪区山北街道会北路 26-17 号.

　　-2017年11月, 编制《光学窗口、红外滤光片的生产项目》。

　　-2018年1月, 批复《光学窗口、红外滤光片的生产项目》。

　　-2019年4月, 因产生重大变动, 重新报批《光学窗口、红外滤光片的生产项目》。

　　-2021年7月, 编制《光学窗口、红外滤光片扩建项目》

　　-2022年7月, 《光学窗口、红外滤光片扩建项目》完成自主验收, 产能为年产锗窗20万片、硅窗20万片、红外滤光片20万片、晶圆硅窗2万片

　　-2022年12月, 企业改变产品结构, 将锗窗产品取消,红外滤光片生产能力由20万片/年削减为10万片/年, 20万片硅窗中10万片硅窗的前道工序拟委外生产, 改变后该工厂产能变为年产硅窗20万片、红外滤光片10万片、晶圆硅窗2万片。

　　二厂位于江苏省无锡市梁溪区会岸路90号金山北科技产业园6号楼。

　　-2022年9月, 备案《二厂新建项目》。

　　-2023年1月, 申报《二厂新建项目》, 拟投资2000万元,本项目建成后二厂具有年产锗窗20万片、硅窗前道毛坯件10万片、红外滤光片10万片、光学镜头10万只的生产能力。

　　By Li,Chase#MEMS传感器# 本文企业调查名单依据”传感器专家网”于2023年1月知乎文章《新增10条！中国50条MEMS传感器芯片产线年度大盘点(全网蕞新蕞全)》深度整理而来, 在原文中所列公司实体50个，其中包含3个重复项且，即实际调查公司为47个。感兴趣的小伙伴可以查询提及的文章对照起来...

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